항 목 | GPM-100 | GPM-200 | GPM-300 | GPM-500 | GPM-1000 | GPM-1500 | GPM-2000 | GPM-2500 | GPM-3000 |
고유진동수 Natural Frequency |
2.0 ~ 3.0 Hz | ||||||||
제진방식 Isolation Method |
정밀 멤브레인형 에어스프링 | ||||||||
수평유지방식 Leveling Method |
자동 수평유지기구에 의해서 자동적으로 수평을 유지 | ||||||||
수평유지 반복정밀도 Leveling repeatability |
± 0.2 mm 이하 | ||||||||
하중변화에 따른 안정화시간 Settling Time |
2 ~ 3 초 | ||||||||
치수 [W x D x H mm] |
140x140x170 | 160x160x170 | 200x200x170 | 240x240x190 | 310x310x190 | 320x320x190 | 360x360x190 | 400x400x190 | 450x450x190 |
탑재하중 [kg/ea] |
100 | 200 | 300 | 500 | 1000 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 |
취부구멍간격 [AxB mm] |
120x120 | 140x140 | 180x180 | 210x210 | 280x280 | 280x280 | 320x320 | 360x360 | 410x410 |
취부구멍치수 [C mm] |
Φ10 | Φ10 | Φ12 | Φ14 | Φ14 | Φ14 | Φ14 | Φ14 | Φ14 |
공급 공기압력 | 0.3 ~ 0.6 MPa | ||||||||
액세서리 부품 | 압력계 부착 레귤레이터, 공압호스, 공압FITTING |