아이솔레이터

GPMK series (정밀형)

•‌ ‌‌정밀한 반복 정밀도를 요구하는 중/대형 검사장비 등에 적합한 아이솔레이터 시스템
•‌ ‌대형 STAGE 상부의 고속 이동하중에 대한 제진 적응성이 우수함
•‌ ‌다양한 User의 요구사항에 맞춘 Spec으로 적용 가능함

항   목	GPMK-100	GPMK-200	GPMK-300	GPMK-500	GPMK-1000	GPMK-1500	GPMK-2000	GPMK-2500	GPMK-3000
고유진동수 Natural Frequency	2.0 ~ 3.0 Hz
제진방식 Isolation Method	정밀 멤브레인형 에어스프링
수평유지방식 Leveling Method	자동 수평유지기구에 의해서 자동적으로 수평을 유지
수평유지 반복정밀도 Leveling repeatability	± 0.2 mm 이하
하중변화에 따른 안정화시간 Settling Time	2 ~ 3 초
치수 [W x D x H mm]	140x140x170	160x160x170	200x200x170	240x240x190	310x310x190	320x320x190	360x360x190	400x400x190	450x450x190
탑재하중 [kg/ea]	100	200	300	500	1000	1500	2000	2500	3000
취부구멍간격 [AxB mm]	120x120	140x140	180x180	210x210	280x280	280x280	320x320	360x360	410x410
취부구멍치수 [C mm]	Φ10	Φ10	Φ12	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14
공급 공기압력	0.3 ~ 0.6 MPa
액세서리 부품	압력계 부착 레귤레이터, 공압호스, 공압FITTING